Gofret İşleme UV Nedir?

Gofret işleme UV fotolitografi, temizleme, yüzey değiştirme ve yapıştırma sırasında UV kullanan yarı iletken bir üretim tekniğidir. Diğer UV sistemleri, prosedürün kritik anlarında radyasyon sağlamaya odaklanarak her adımın doğruluğunu ve güvenilirliğini sağlar. Termal ve kimyasal tekniklerin aksine, bu yöntem UV ile geliştirilmiş temizleme ve hizalanmış gofret yüzeylerine yapıştırmayı tercih eder.

UV Işığı ile Yapılan Gofret İşleme ve Yapıştırma

Gofret yüzeyine fotolitografik olarak karmaşık bir tabaka uygulamak

Fotolitografi ile, sıralı işlemler sırasında gelişmiş desenler gofret yüzeylerine bindirilir ve çıkarma işlemi birkaç nanometre kadar küçük adımlarla gerçekleştirilir.

Isı uygulanmadan yapılan işlemler

GaAs camlar ve diğer hassas kompozitler gibi sıcaklığa duyarlı malzemeler, UV ışınlarına maruz kalma gibi stressiz işlemlerden kazanç sağlar.

Yüzey Temizleme ve Modifikasyon

Kaplama veya bağ katmanlarının hazırlık aşamaları sırasında UV temizliği, karbon zincirlerini keserek yüzeyleri devre dışı bırakabilir ve bu da kirletici içermeyen yüzeyler elde edilmesini sağlar.

Sürdürülebilirlik ve Çevre Dostu Yenilikler

Son nesil silikon gofret maruz kalma araçları, aşağıdakileri kullanan cihazları kullanır: cıva içermeyen ultraviyole LED teknolojileri. Bu cihazlar, daha düşük enerji tüketimleri ve uzun ömürleri nedeniyle daha çevre dostudur.

Gofret İşlemede UV'nin Temel İşlevleri

UV Fotolitografi

Gofretler üzerine mikro ve nano özelliklerin kazınması için ve DUV litografi, daha fazla boyut küçültme için daha fazla kapasiteye sahiptir.

UV Gofret Yapıştırma

Gofretleri yapıştırmak için WLP ve MEMS teknolojilerinde olmazsa olmaz olan oldukça düşük sıcaklıklarda ultraviyole yapıştırıcılar kullanır.

UV Destekli Aşındırma ve Küp Doğrama

Döküntüleri en aza indirirken ve hassasiyeti artırırken kenar kalitesini artırmak için UV lazerler kullanarak silikon, safir ve cam gofretlerin çizilmesini sağlar.

Yüzey Aktivasyonu

Arayüzey enerjisindeki artışla birlikte yapışkan bağ enerjisinde ve yüzey enerjisinde bir azalma, yapışkan bağın güçlenmesine neden olur.

Maruziyet Sonrası Pişirme (PEB)

Fotoreziste maruz kalma sonrası işlemler, bağların çapraz bağlanmasını güçlendirir, görüntü tanımını güçlendirir ve genel olarak yapışmayı ve mukavemeti iyileştirir.

Teknik Maruziyet: Gofret İşlemeye Uygulanan UV Sistemleri

Yarı iletken alanında kullanılan diğer tüm araçlar gibi, gofret işleme için kullanılan UV sistemleri de doğruluk, güvenilirlik ve ekolojik uyumluluk gerektirir. Modern litografik teknikler ve gelişmiş gofret kuru temizleme, yapıştırma ve aşındırma işlemleri için gereken 20 W/cm^2 maruz kalma yoğunluğu eşiğini aşmanın yanı sıra hem derin UV'yi (185 nm) hem de yakın UV'yi (405 nm) entegre ederler.

Lazerler ve stepperlerle karşılaştırıldığında, maske hizalayıcıları farklı UV gofret maruz kalma metodolojilerine sahiptir. Bu sistemler silikon, GaA, cam ve safir gofretleri işler, pasif ve aktif sıcaklık kontrolü sağlar ve sıcaklık yönetimi yoluyla aşırı ısınmayı önler.

Hem pasif hem de aktif UV radyasyon kaynakları, yoğunlukları ve spektrumları bakımından birbirinden farklıdır. Bu sistemler, kısmi veya tam otomasyon yetenekleri nedeniyle Ar-Ge birimleri için olduğu kadar otomatik ve yarı otomatik üretim hatları için de uygundur.

Geleneksellere göre ne gibi faydalar sağlar?

Faydalarına bakıldığında su işleme UV Ve bunu geleneksel termal veya kimyasal yöntemlerle karşılaştırdığımızda, avantajların dezavantajlardan daha ağır bastığı açıktır. Her şeyden önce, UV WAFE işleme, mevcut mikro ve nano üretim tekniklerini geliştirir. UV fotolitografi sistemleriyle entegrasyon, karmaşık desen tanımları için elde edilen kümülatif doğruluğu artırır.

• Dikey kürleme ve UV sistemlerinin dikey olarak açığa çıkarılması, döngü süresi kısıtlamalarını ele alırken verimi artırır. Bu da, üretim verimliliği arttıkça boşta kalma süresini azaltır ve hacimsel üretim çalışma süresi ölçümlerini optimize eder.

• Çok fazla ampul değişimi gerektirmeyen bu sistemler sayesinde, ampul bazlı UV sistemlerinin bakım ve işletme ömrü artar. Bu sistemler daha düşük güç tüketimi ile birlikte kullanıldığında, daha yüksek ve sürekli tasarruf kabiliyetine sahip olurlar.
• Günümüzün çevre dostu sistemleri hala daha düşük tehlike etkileriyle ilgili olduğundan, cıva ve diğer tehlikeli kimyasalların uzaklaştırılması bu sistemleri yeşil hale getirir. Ayrıca, bu ultra temiz sistemlerin ürettiği daha düşük sıcaklık radyasyonu, onları ısıdan zarar görebilecek gofretler için hassasiyet sınırlarının altına düşürür.
• Islak kimyasal banyolara olan bağımlılığın azalması aynı zamanda proses temizliğini artırır ve daha temiz verim sağlar.

Malzemelerin ve Maddelerin Ultraviyole İşlemleri

Silikon gofretler – Entegre devreler ve MEMS cihazları için en kullanışlıdır.

Galyum Arsenit (GaAs) - Radyo frekansı ve fotonik sistemlerde kullanılır.

Camlar ve erimiş silikalar – Optik cihazlarda, biyosensörlerde ve diğer ilgili teknolojilerde uygulanır.

Polimer Yüzeyler – Esnek elektronik içinde kullanılır.

Fotorezistler - Helyografik ve litografik işlemler için gereklidir.

MEMS ve IC Teknolojilerinde Fotolitografi

MEMS'de, ultraviyole kontrolü ile hassas hareketli nano ölçekli kirişler, sensörler ve hatta aktüatörler tasarlamak ve üretmek artık mümkün. Entegre devre teknolojisinde, çok katmanlı fotomaskeler derin UV yumuşak litografi ile üretilir. Fotopolimerlerin üretan polimerizasyonu işlemi sırasında, kalıp şişmesi olarak da bilinen diepoksi reçineler, dielektrik ve metal tabakaların yapışmasını artıran dielektrik ve metal tabakaların yapışmasını arttırır.

Temiz odalar ve otomasyon

Temiz oda sınıfı ISO tasarımları yeni otomasyon özellikleri ile entegre edilmiştir; ek olarak, UV gofret işleme sistemi sınırları genişliyor. Sistemler şunları sağlar:

• Gofretin kesintisiz, sürekli sentezi için hat içi otomatik duman tahliyesi.
• Dokunmatik panel arayüzleri.
• Sürekli besleme ve düşük koruyucu partikül emisyonu, havadaki kontaminasyonu azaltır.
• Üretim kapasitesinin kademeli olarak ölçeklendirilmesi için modüler yapısal tasarım.
• Düşük kirletici partikül emisyonu.

Satın Alma Rehberi: UV Gofret İşleme İçin En İyi Sistemi Seçme

Doğru UV gofretini seçmek, bir yarı iletken şirketinin hızını, doğruluğunu ve verimliliğini artıracaktır. Seçim sırasında göz önünde bulundurulması gereken en kritik hususlar şunlardır:

• Dalga Boyu Aralığı

Kullanılan fotorezistlerin ve bağlayıcı maddelerin 185-405nm UV aralıklarına sahip olduğunu onaylayın.

• Sistem Pozlama Kontrol Yoğunluğu

Değişken ve önceden ayarlanmış modellerin sabit yoğunluk ayarlarına ve hassas doz kontrolüne sahip olduğundan emin olun.

• Soğutma Yöntemleri

Aktif (sıvı/hava) ve pasif (soğutucu), uzun çalışma süreleri boyunca yeterli aşırı ısınma koruması sağlamalıdır.

• Ölçeklenebilirlik

Araştırma ve geliştirme, yüksek hacimli üretim için hat içi sistemlere ilerleyen tezgah üstü ünitelerle başlar. Üretime özel üniteler için özel olarak tasarlanmış sistemler, özel talepler etrafında inşa edilir.

• Otomasyon ile uyumluluk

Otomasyon arayüzünde boşluk riski olmadan diğer sistem arayüzleri için robotik yükleyiciler, konveyörler ve temiz oda otomasyonu ile boşlukları değerlendirin.

İş ortaklarından ve bakım ekipmanı satıcılarından yardım

Lojistik onarım ve servis desteği için, zamanında yardım almak satıcılar tarafından büyük değer taşır. UVET, yarı iletkenler için yüksek hızlı, çevre dostu, son teknoloji temiz oda uyumlu UV gofret işleme sistemleri sağlamada eşsizdir. Bu sistemler, sistemlerin hızına ve hassasiyetine olan güven nedeniyle dünyanın her yerindeki yarı iletken mühendisleri tarafından çok güvenilmektedir.

Son

Üretim hacmi arttıkça, yarı iletken UV işlemeye olan talep de artıyor. Yarı iletkenlerin üretiminde ultraviyole ışığın sağladığı avantajlar, temiz standart bir şekilde hassas iş geliştirme ve uygun maliyetli ölçeklendirmedir. Bu hassasiyet, ışık destekli yapıştırma ve aşındırma katmanlı gofret imalatı ile elde edilir. Üretiminiz için hassasiyeti artırmak mı istiyorsunuz? Her UV gofret sistemi katman konstrüksiyonu ile eşsiz endüstri hassasiyetinin elde edildiği UVET'te en son teknoloji sizi bekliyor.